?空氣過濾?:無塵車間的空氣循環(huán)首先通過初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器進(jìn)行過濾。初效過濾器主要過濾掉較大的顆粒物,中效過濾器進(jìn)一步過濾中等大小的顆粒物,而高效過濾器(如HEPA或ULPA過濾器)則截留至少99.97%的0.3微米顆粒物,確保空氣的潔凈度。
?氣流管理?:無塵車間的氣流管理至關(guān)重要。常用的氣流方式包括層流和湍流。層流是指氣流以單一方向流動(dòng),速度穩(wěn)定,能夠有效帶走顆粒物;而湍流則通過不規(guī)則流動(dòng)減少顆粒物在空氣中的停留時(shí)間。
?空調(diào)系統(tǒng)?:空調(diào)系統(tǒng)在無塵車間中扮演著重要角色,負(fù)責(zé)室內(nèi)空氣的循環(huán)、過濾、溫度和濕度控制。空調(diào)系統(tǒng)通過送風(fēng)口將過濾后的空氣送入車間,并通過回風(fēng)口將污濁空氣排出,形成一個(gè)循環(huán)系統(tǒng)。
?壓力控制?:為了保持車間的潔凈度,無塵車間還需要進(jìn)行壓力控制。通常,主車間對(duì)相鄰潔凈房間的壓力差應(yīng)≥5Pa,潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)的壓力差應(yīng)≥10Pa,以防止外界污染進(jìn)入車間。
?溫濕度控制?:無塵車間的溫度和濕度也有嚴(yán)格的要求。一般來說,冬季溫度應(yīng)維持在16℃±2℃,夏季溫度應(yīng)≤26℃±2℃,相對(duì)濕度應(yīng)保持在45-65%RH,以確保設(shè)備和產(chǎn)品的穩(wěn)定運(yùn)行。